半導体デバイスの原理と技術を解説する代表的な教科書として高く評価されてきたSimon Min Sze博士の”Semiconductor Devices: Physics and Technology”が、最新の動向を反映して約十年ぶりの改訂を受け、第3版として刊行されました。
Semiconductor Devices: Physics and Technology, International Student Version, 3rd Edition
by Simon M. Sze
ISBN 978-0-470-87367-0
August 2012 / Paperback / 592 pages
◆ チラシ(PDF)
この第3版では、旧版の内容の約35%が改訂されました。特に、近年の関心を反映して、CMOSイメージセンサ、FinFET、第3世代型太陽電池、原子層堆積といった主題についての記述を増補しています。
目次
CHAPTER 0 Introduction
PART I SEMICONDUCTOR PHYSICS
CHAPTER 1 Energy Bands and Carrier Concentration in Thermal Equilibrium 15
CHAPTER 2 Carrier Transport Phenomena 43
PART II SEMICONDUCTOR DEVICES
CHAPTER 3 p-n Junction 82
CHAPTER 4 Bipolar Transistors and Related Devices 123
CHAPTER 5 MOS Capacitor and MOSFET 161
CHAPTER 6 Advanced MOSFET and Related Devices 196
CHAPTER 7 MESFET and Related Devices 230
CHAPTER 8 Microwave Diodes; Quantum-Effect and Hot-Electron Devices 260
CHAPTER 9 Light Emitting Diodes and Lasers 283
CHAPTER 10 Photodetectors and Solar Cells 326
PART III SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
CHAPTER 11 Crystal Growth and Epitaxy 360
CHAPTER 12 Film Formation 395
CHAPTER 13 Lithography and Etching 432
CHAPTER 14 Impurity Doping 471
CHAPTER 15 Integrated Devices 511
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